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Radiant塔式薄膜压电测量装置可测量悬臂梁上沉积的压电薄膜的压电系数。施加在压电薄膜上的电压将使基片向不同方向弯曲。所述位移被配置在悬臂端的运动的位移传感器捕获。Radiant测试包可兼容72毫米(4“)和43毫米(2")两种悬臂梁，Radiant还提供了一个塔变量(LDV)-与激光测振计或Polytec的系统。
Radiant塔式薄膜压电测量装置和Radiant高精度铁电分析仪可以进行三种类型的测量。
1)确定随电压变化导致的悬臂端的位移；
2)可以执行的第二种测试是直接的D31测量。这是通过施加一个外力致悬臂*移动，同时记录压电电容器产生的电荷来实现的。
3)如果使用交叉指型电极，则测量E33。
特点
准确性--重现性达1%, 下载和上载达 2%
可重现性--装载同一样品，测量数据没有变动
灵活性--薄膜或块体，生产或科研均适合
多样性—可容纳不同几何形状的样品
操作简便
不昂贵
铁电测试仪
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